사업분야
- 장비사업부
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- EUV & Photomask Repair 장비
- 3D Inspection & Analysis System
- 중소형 Coater ( Ion Sputter, Evaporator)
- Imprinting Coater, 디스플레이 측정 System
- Solution 사업부
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- 반도체, 디스플레이 장비 Jig, Moving System 제작
- 환경/안전용 Cover류, Case 모듈 제작
- Utility Water Proof Cover, PIO Bracket 설계 및 제작
- DVR, Chemical Filter 제작 및 설치
- 장비 H/W Set-up 및 안전담당자 용역
- 촉매사업부
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- 알루미나 지지체
- PFCs 분해촉매
- N2O 분해촉매
- 암모니아 분해 수소촉매