제품소개
Coater
특징
1. Flash식 증착방식으로 박막두께 조절가능.
2. Sample에 대한 열 Damage를 최소화
3. 간단한 Operation 및 우수한 재현성
4. EPMA 및 분석 SEM의 최적의 전처리 장치
5. Option Unit 추가로 Au, Pt, Pt-PD Sputtering Coating 가능
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SPEC |
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Carbon Holder & Electrode |
Cartridge type / One pair |
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Number of Coatings & Coating Time | 1 to 19 time(s) / 0.3sec/1time |
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Chamber Size |
160(dia.) X 160(depth)mm |
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Power supply for evaporation | 12V/Max. 70A |
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Degree of vacuum | 4Pa |
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Rotary pump | Directly-connected rotary pump 100L/min |
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Dimensions and Weight |
Main unit : 360(W) X 400(D) X 256(H)mm, 26kg RP : 460.5(W) X 173.5(D) X 264(H)mm, 22.4kg |
Power Supply | Single Phase AC 100V ±10% 50/60Hz 15A |