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저항가열방식 COATER
*알류미늄등의 증착막 작성에 최적
SVC-700
① 증착장치의 기본이 도는 Basic Model
② 알류미늄등의 증착막 작성에 최적
③ DP Type이지만 Switch에의한 Valve OPEN/CLOSE로 간단한 조작
④ 풍부한 Option이 장기적인 기능확장에 대응
저항 가열 방식
12V50A / 7V80A (전환식)
2조
DP: 200l/sec (LN2 Trap 부착)
RP: 20l/min (직결형)
Main Valve: Butterfly Valve
10-4Pa 대
내경φ160mm×H240mm (유리 제. 보호 Cover 부속)
600/400/800mm
약 50kg