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DC Magnetron Sputtering 방식 시료제작용 COATER
*Micro Computer 탑재로 성막을 고정도로 Control가능
SC-70HMCII
① W/Ti/Ni/Cr등의 성막에 대응
② Magnetron Head 채용
③ Micro Computer 탑재로 성막을 고정도로 Control가능
④ 조작방법은 Full Auto/Manual의 2가지 Mode
⑤ 자동 Sputter 기구 표준장비
DC Magnetron Sputtering
φ2inch Magnetron Head
0 ~ 40mA / 0 ~ 3kV (System 제어)
Auto / Manual 조작
Needle Valve(Auto / Manual 제어)
직결형 Rotary Pump:100l/min(자동 Leak)
내경φ160mm×D160mm (SUS 제)
본체:360/360/260mm
RP:174/460/264mm
본체:20kg
RP:23kg