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DC Magnetron Sputtering 방식 시료제작용 COATER
*Micro Computer 탑재로 성막을 고정도로 Control가능
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SC-70HMCII |
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① W/Ti/Ni/Cr등의 성막에 대응
② Magnetron Head 채용
③ Micro Computer 탑재로 성막을 고정도로 Control가능
④ 조작방법은 Full Auto/Manual의 2가지 Mode
⑤ 자동 Sputter 기구 표준장비
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DC
Magnetron Sputtering |
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φ2inch
Magnetron Head |
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0 ～ 40mA /
0 ～ 3kV （System 제어） |
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Auto /
Manual 조작 |
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Needle
Valve（Auto / Manual 제어） |
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직결형 Rotary Pump:100l/min（자동 Leak） |
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내경φ160mm×D160mm (SUS 제) |
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본체:360/360/260mm
RP:174/460/264mm |
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본체:20kg
RP:23kg |
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