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Magnetron Cathode 방식 SEM 용 시료제작용 COATER
SC-701MC
① 시료에 무리를 주지않는 Magnetron Cathode 채용
② 고효율의 Sputter방식에 의해 고배율에서의 SEM 관찰 에도 견디는 시료제작이 가능합니다.
③ 막 두께를 제어하면서 시료제작이 가능한 SEM용 전처리 장치
φ2  inch Magnetron Cathode
Au Target 부속
Pre Set 방식. Digital 표시 막 두께 Monitor 부속
전면 Door 개폐식
직결형 Rotary Pump: 20l/min (자동 Leak)
본체: 225/420/320mm  RP: 300/160/200mm
본체: 15kg RP: 9kg