HOME > Á¦Ç°¼Ò°³ > SANYU ELECTRON >
SC-701AT
2±Ø ´ëĪÇü ½Ã·áÁ¦ÀÛ¿ë COATER
*Pre Set ¹æ½Ä
SC-701AT
¨ç ÀüÀÚÇö¹Ì°æ ½Ã·á¸¦ ÀüÀÚµ¿À¸·Î °£´ÜÈ÷ ÀÛ¼º
¨è Pre Set ¹æ½Ä¿¡ ÀÇÇØ ¸· µÎ²²ÀÇ Á¶Á¤ÀÌ °¡´É
¨é °£´ÜÇÑ Á¶ÀÛ¹× ³ôÀº ÀçÇö¼º
Cathode
¥õ2 inch / 2 ±Ø ´ëĪ Àü±Ø
Target
Sputter¿ë£º Au Target ºÎ¼Ó ¡¡Etching¿ë£º Al Target ºÎ¼Ó
¸· µÎ²² ¼³Á¤ ¹æ½Ä
Pre Set¹æ½Ä/Digital Ç¥½Ã ¸· µÎ²² Monitor ºÎ¼Ó
Áø°ø Pump
Á÷°áÇü Rotary Pump: 20l/min (ÀÚµ¿ Leak)
½Ã·á ±³È¯ ¹æ¹ý
Àü¸é Door °³Æó½Ä
Å©±â(W/D/H)
º»Ã¼: 225/420/320mm ¡¡RP: 300/160/200mm
Áß·®
º»Ã¼: 15kg ¡¡RP: 9kg