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평판전극형 시료제작용 COATER
*SEM 관찰 시의 Charge Up방지에 최적한 전처리 장치 |
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SC701 MKII |
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① Best Model SC-701이 Full Model로 Change
② SEM 관찰 시의 Charge Up방지에 최적한 전처리 장치
③ Ion Damage을 경감하는 Sputter 기능을 표준 탑제
④ SEM 주위에 설치해도 성능에 방해가되지 않는 Compact Model (W160*D326*H286mm)
⑤ 시료제작의 초간단화 및 Series 최소경량제품 |
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φ2 inch/평판형 전극 |
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Au Target 부속 |
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Needle Valve |
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표준탑제 |
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직결형 Rotary Pump:20/min(자동 Leak) |
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내경φ90mm×D90mm(SUS 제) |
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전면 Door 개폐식 |
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본체:160/326/286mm
RP:300/160/200mm |
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본체:10kg
RP:9kg |
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