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SPM형 Photo mask Repair System
SPR 6300
주사형 Probe 현미경 기술을 Photo mask 결함 수정에 응용하여 Photo Mask상의 Opaque Defect을 Diamond Tip을 이용 수정하는 장치입니다. 지금까지 FIB나 Laser를 이용한 수정 기술에서는 어렵다고 여겨져 왔던 미세한 이물질의 제거나 고립 결함의 수정을 가능하게 하였습니다.