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SMI 500 나노가공 현미경 시스템
SMI500
간단함과 편리성 공간절약을 키워드로 전자 디바이스에서 유기 재료까지 다양한 샘플에 대하여 나노 수준의 현미경 관찰과 미세가공을 실현하였습니다. Simple 설계에 의한 저가격 실현함과 동시에 FIB 장치의 큰 특징인「특정위치」에서 기계 연마 등으로는 얻을 수 없는 깨끗한 단면 가공·관찰이 가능합니다. 또한 인체공학에 기초한 외관 디자인이나 알기 쉬운 직감적인 소프트웨어를 이용 사용의 편리함을 향상시켰습니다.

1. FIB 장치로는 유래가 없는 저렴한 가격으로 여러 기능을 제공합니다.
2. 전자디바이스·금속재료·유기재료·박막·세라믹스·다이아몬드 등 고경도 재료로부터 부드러운 재료
  복합 재료에 이르기까지 여러 재질의 샘플가공에 대응 가능합니다.
3. 기계연마 등 다른 시료제작에서는 얻을 수 없는 특정위치에 단면가공이 가능합니다. 이물·석출물 등
  특정위치의 물질 해석이 가능합니다.
4. 고성능 FIB Column탑재로 깨끗하고 밝은 관찰상, FIB만이 가능한 Channeling Contrast를 살린 관찰상 등을
 얻을 수 있습니다. 통상의 단면 관찰은 물론 각종 재료의 Grain 평가나 접합계면 평가에 위력을 발휘합니다
5. 벡터스캔 모드를 표준으로 준비하여 마이크로 나노 단위 미세가공이 가능합니다. 미세 패턴 가공이나 미세
   금형 가공등을 실시할 수 있습니다.
6. 심플한 장치구성으로 설치 장소 등의 제한이 적어졌습니다.
7. 직감적인 조작 Easy Navigation기능 탑재에 의해 초보자도 쉽고 간단하게 조작 할 수 있습니다.
8. 가스 공급 시스템(옵션)에 의해 Deposition 가공이 가능합니다.

600(W) x 700(D) x 1520(H)mm
φ32mm이하、t15mm이하
5Axis Stage
Windows(R) VISTA
30kV
30,000배이상
100V : 15A
Dry 질소
Vial Carbon Gas Gun
탁상 조작 패널
시료실관찰용 CCD 카메라
조작 테이블