Áø°øÁß¿¡¼ ¹°Áú¿¡ ¸·À» ÀÔÈ÷´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î, Sputterº¸´Ù Àü¿¡ ½Ç¿ëÈ µÈ ¼º¸· ±â¼úÀÔ´Ï´Ù. Sputterº¸´Ù °£¼ÒÇÏ°í ¾Ë±â ½¬¿î ¿ø¸® ÀÔ´Ï´Ù.
¿ø¸®1£º ¸·À» ÀÔÈ÷´Â ½Ã·á¿Í ¸·ÀÇ ¿ø·á¸¦ ¿ë±â ¾È¿¡ ³Ö´Â´Ù.(Sputter¿Í ´Ù¸£°Ô °Å¸®¸¦ µÐ´Ù.)
2£º Àüü¸¦ Áø°ø»óÅ·ΠÇÏ¿© ¿ø·á¸¦ °¡¿ÇÏ¿© ³ìÀδÙ.(Áõ¹ß½ÃŲ´Ù.)
3£º ¿ø·á°¡ ±âü ºÐÀÚ°¡ µÇ¾î ½Ã·á¿¡ Ãæµ¹, ºÎÂøÇØ ¸·ÀÌ Çü¼ºµÈ´Ù.
°¡¿ ¿ëÇØÀÇ ¹æ¹ý¿¡ ÀÇÇØ ÀúÇ×°¡¿½Ä, ÀüÀÚ Beam½Ä, °íÁÖÆÄ À¯µµ½Ä, Laser½Ä µîÀÌ ÀÖ´Ù.
¿ø·á ºÐÀÚ°¡ ½Ã·á¿¡ µµ´ÞÇϱâ Àü¿¡ ÀÜ·ù ±âü ºÐÀÚ¿¡ Ãæµ¹ÇÏÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡, ¶ÇÇÑ ±âü ºÐÀÚ ÀÚü°¡ ½Ã·á¿¡ Ãæµ¹ÇÏÁö ¾Ê¾Æ Sputter(¼ö Pa
)º¸´Ù ³ôÀº Áø°øµµ(10
-3¢¦10
-4 Pa )°¡ ÇÊ¿ä.